Gas phase cluster aggregation and its application to the deposition of functional thin films

Kiel, Univ., Diss., 2013

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Peter, Tilo (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Faupel, Franz (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2013
Schlagworte:	Hochschulschrift > Dünnschichttechnik > Cluster > Gasphase
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