MOEMS and miniaturized systems XII : 4 - 6 February 2013, San Francisco, California, United States ; [part of SPIE photonics west]

MOEMS and miniaturized systems XII 4 - 6 February 2013, San Francisco, California, United States ; [part of SPIE photonics west]

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Piyawattanametha, Wibool (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Bellingham, Wash. SPIE 2013
Schriftenreihe:Proceedings of SPIE 8616
Schlagworte:
Microelectromechanical systems > Miniature electronic equipment > Micromechanics > Optical scanners > Konferenzschrift > MEMS > Elektrooptisches Bauelement > Miniaturisierung
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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