Kursunterlagen zum Tutorial "Plasmen in der Beschichtungstechnik" 10.-11. April 2013 an der Ruhr-Universität Bochum

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Europäische Forschungsgesellschaft Dünne Schichten (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Awakowicz, Peter (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Dresden 2013
Schlagworte:	Konferenzschrift > Forschungsbericht > Beschichten > Plasma
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Beschreibung
Beschreibung:	Enth. nur Präsentationsfolien, keine ausgearb. Vorträge
Beschreibung:	Getr. Zählung, [ca. 100] S. Ill., graph. Darst.