Enabling technologies for MEMS and nanodevices

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser:	Baltes, Henry (HerausgeberIn), Brand, Oliver (HerausgeberIn), Fedder, Gary K. (HerausgeberIn), Hierold, Christofer (HerausgeberIn), Korvink, Jan G. (HerausgeberIn), Tabata, Osamu (HerausgeberIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Weinheim Wiley-VCH-Verl. 2013
Ausgabe:	[Paperback-Ausg.]
Schriftenreihe:	Advanced micro & nanosystems [1]
Schlagworte:	Aufsatzsammlung > MEMS > Nanotechnologie
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis Inhaltstext Cover
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