The 3rd International Conference on Microelectronics and Plasma Technology (ICMAP) 2011 [... was held in Dalian, China, July 4 to July 7, 2011]
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
Amsterdam u.a.
Elsevier
2012
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Schriftenreihe: | Thin solid films
521.2012 |
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Beschreibung: | 274 S. |
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