Integer programming-based real-time dispatching (i-RTD) heuristic for wet-etch station at wafer fabication

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Veröffentlicht in:International journal of production research
1. Verfasser: Ham, M. (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: 2012
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Beschreibung
Beschreibung:graph. Darst.
ISSN:0020-7543