On UV-nanoimprint-lithography as direct patterning tool for polymeric microsystems

Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Diss., 2011

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Kirchner, Robert (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Dresden TUDpress Verl. der Wiss. 2012
Schlagworte:	Hochschulschrift > Nanoprägen > Ultraviolett > Funktionelle Polymere > Ringresonator > Photonik
Online Zugang:	Inhaltstext Inhaltsverzeichnis
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