Atomic layer deposition applications 7 [Seventh Symposium on Atomic Layer Deposition Applications ... held October 10 through 12, 2011 in Boston, Massachusetts, as part of the 220th meeting of the Electrochemical Society]

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: Electrochemical Society Dielectric Science and Technology Division (BerichterstatterIn), Electrochemical Society Electronics and Photonics Division (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Elam, Jeffrey W. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Pennington, NJ ECS 2011
Schriftenreihe:ECS transactions Dielectric and semiconductor materials, devices, and processing 41,2
Schlagworte:
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!