Atomic layer deposition applications 7 [Seventh Symposium on Atomic Layer Deposition Applications ... held October 10 through 12, 2011 in Boston, Massachusetts, as part of the 220th meeting of the Electrochemical Society]
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Körperschaften: | , |
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Weitere Verfasser: | |
Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
Pennington, NJ
ECS
2011
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Schriftenreihe: | ECS transactions Dielectric and semiconductor materials, devices, and processing
41,2 |
Schlagworte: | |
Online Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
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