In-situ deposited SiNx nanomask for crystal quality improvement in AlGaN

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Physica status solidi / C
1. Verfasser:	Forghani, Kamran (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Gharavipour, Mohammadreza (VerfasserIn), Klein, Martin (VerfasserIn), Scholz, Ferdinand (BerichterstatterIn), Klein, Oliver (BerichterstatterIn), Kaiser, Ute (BerichterstatterIn), Feneberg, Martin (BerichterstatterIn), Neuschl, Benjamin (BerichterstatterIn), Thonke, Klaus (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2011
Schlagworte:
Online Zugang:	http://dx.doi.org/10.1002/pssc.201001074
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