Integration piezoelektrisch aktiver Schichten auf Silizium für die Mikrosystemtechnik

Zugl.: Magdeburg, Univ., Fak. für Elektrotechnik und Informationstechnik, Diss., 2011

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Schimpf, Stefan (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Schmidt, Bertram (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Göttingen Sierke 2011
Ausgabe:	1. Aufl.
Schlagworte:	Hochschulschrift > Piezoelektrischer Linearmotor > Dickschichttechnik > Piezoelektrischer Aktor
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