Innovative Resist- und Direkt-LIGA-Technologieentwicklung zur Etablierung einer rentablen Fertigungsmethode für LIGA-Präzisionsteile für KMU auf Basis eines stabil arbeitenden Röntgen-Negativresists : Abschlussbericht des Teilvorhabens ; Kurztitel: INNOLIGA ; Rahmenprogramm: Mikrosysteme 2004 - 2009 des BMBF ; Laufzeit: 01.03.2007 - 30.09.2010, 3,5 Jahre

Innovative Resist- und Direkt-LIGA-Technologieentwicklung zur Etablierung einer rentablen Fertigungsmethode für LIGA-Präzisionsteile für KMU auf Basis eines stabil arbeitenden Röntgen-Negativresists Abschlussbericht des Teilvorhabens ; Kurztitel: INNOLIGA ; Rahmenprogramm: Mikrosysteme 2004 - 2009 des BMBF ; Laufzeit: 01.03.2007 - 30.09.2010, 3,5 Jahre

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Hahn, Lothar (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Karlsruhe KIT u.a. 2011
Schlagworte:
Forschungsbericht
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 16SV3522. - Verbund-Nr. 01054733
Auch als elektronische Ressource vorh
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden. - Auch als elektronische Ressource vorhanden
Beschreibung:73 S.
Ill., graph. Darst.