Innovative Resist- und Direkt-LIGA-Technologieentwicklung zur Etablierung einer rentablen Fertigungsmethode für LIGA-Präzisionsteile für KMU auf Basis eines stabil arbeitenden Röntgen-Negativresists Abschlussbericht des Teilvorhabens ; Kurztitel: INNOLIGA ; Rahmenprogramm: Mikrosysteme 2004 - 2009 des BMBF ; Laufzeit: 01.03.2007 - 30.09.2010, 3,5 Jahre

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Hahn, Lothar (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Karlsruhe KIT u.a. 2011
Schlagworte:	Forschungsbericht
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