Electromechanical systems in microtechnology and mechatronics electrical, mechanical and acoustic networks, their interactions and applications

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Lenk, Arno (BerichterstatterIn), Ballas, Rüdiger Gregor (BerichterstatterIn), Werthschützky, Roland (BerichterstatterIn), Pfeifer, Günther (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Berlin, Heidelberg Springer c 2011
Schriftenreihe:Microtechnology and MEMS
Schlagworte:
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