Innovative Resist- und Direkt-LIGA-Technologieentwicklung zur Etabilierung einer rentablen Fertigungsmethode für LIGA-Präzisionsteile für KMU's auf Basis eines stabil arbeitenden Röntgen-Negativresists (INNOLIGA) Abschlussbericht zum BMBF-Verbundvorhaben

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Nordt, Sawa (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Pasch, Harald (VerfasserIn), Radke, Wolfgang (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Darmstadt u.a. DKI u.a. 2010
Schlagworte:	Forschungsbericht > Epoxidharz > Photoresist
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