Physics of radio-frequency plasmas

Machine generated contents note: 1. Introduction; 2. Plasma dynamics and equilibrium; 3. Bounded plasmas; 4. Radiofrequency sheaths; 5. Single frequency capacitively-coupled plasmas; 6. Multi-frequency capacitively-coupled plasmas; 7. Inductively-coupled plasmas; 8. Helicon plasmas; 9. Real plasmas;...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Chabert, Pascal (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Braithwaite, Nicholas St. J. (VerfasserIn), Braithwaite, Nicholas (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Cambridge u.a. Cambridge University Press 2011
Schlagworte:	Low temperature plasmas > Radio frequency > Hochfrequenzplasma
Online Zugang:	Cover Autorenbiografie Verlagsangaben Inhaltsverzeichnis
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!