Das interferometrische Phasenkontrastverfahren und seine Anwendung zur Herstellung diffraktiver optischer Elemente

Zugl.: Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2010

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Teschke, Marcel (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Sinzinger, Stefan (BerichterstatterIn), Bartelt, Hartmut (BerichterstatterIn), Brunner, Robert (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Ilmenau Univ.-Verl. Ilmenau 2010
Schlagworte:	Hochschulschrift > Diffraktives optisches Element > Interferenzlithografie > Interferometrie > Phasenkontrastverfahren
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis Kurzbeschreibung
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