Anpassung der PECVD-Prozesstechnik an die Anforderungen einer Direktstrukturierung von DLC-Schichten Abschlussbericht
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Meier, Sven Verbundvorhaben: In situ strukturierte DLC-Schichten für den reibungsminimierten und medienarmen Einsatz von Werkzeugen, Gleit- und Wälzlagern |
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| 1. Verfasser: | |
| Format: | UnknownFormat |
| Veröffentlicht: |
Heitersheim
Inprotec AG
2009
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| Schlagworte: | |
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | Förderkennzeichen BMBF 01 RI 05098 [falsch] - 01RI05102 [richtig] |
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| Beschreibung: | 8 S. |