Anpassung der PECVD-Prozesstechnik an die Anforderungen einer Direktstrukturierung von DLC-Schichten Abschlussbericht

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Meier, Sven Verbundvorhaben: In situ strukturierte DLC-Schichten für den reibungsminimierten und medienarmen Einsatz von Werkzeugen, Gleit- und Wälzlagern
1. Verfasser:	Baranyai, Andreas (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Veröffentlicht:	Heitersheim Inprotec AG 2009
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Titel	Jahr	Verfasser
Anpassung der PECVD-Prozesstechnik an die Anforderungen einer Direktstrukturierung von DLC-Schichten : Abschlussbericht	2009	Baranyai, Andreas
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