Schlussbericht zum Teilprojekt UV-Nanoimprint Justagemodul und Prozess für den FEOL- und BEOL-Einsatz innerhalb des bmb+f Verbundprojektes "Evaluierung der Nano-Imprint-Technologie für sub-35nm-IC" - Fantastic : Medea Plus Projekt: 2T305 ; Laufzeit des Vorhabens 01.03.2006 - 30.09.2009

Schlussbericht zum Teilprojekt UV-Nanoimprint Justagemodul und Prozess für den FEOL- und BEOL-Einsatz innerhalb des bmb+f Verbundprojektes "Evaluierung der Nano-Imprint-Technologie für sub-35nm-IC" - Fantastic Medea Plus Projekt: 2T305 ; Laufzeit des Vorhabens 01.03.2006 - 30.09.2009

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Gesellschaft für Angewandte Mikro- und Optoelektronik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Schlachter, Florian (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Aachen 2007 erschienen 2010
Schlagworte:
Forschungsbericht
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 13 N 9216. - Verbund-Nr. 01054752
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden. - Auch als elektronische Ressource vorh
Beschreibung:25 Bl.
Ill., graph. Darst.