Schlussbericht zum Teilprojekt UV-Nanoimprint Justagemodul und Prozess für den FEOL- und BEOL-Einsatz innerhalb des bmb+f Verbundprojektes "Evaluierung der Nano-Imprint-Technologie für sub-35nm-IC" - Fantastic Medea Plus Projekt: 2T305 ; Laufzeit des Vorhabens 01.03.2006 - 30.09.2009

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Gesellschaft für Angewandte Mikro- und Optoelektronik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Schlachter, Florian (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Aachen 2007 erschienen 2010
Schlagworte:	Forschungsbericht
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