Mikro-Nano-Integration für die Mikrosystemtechnik (MNI-mst) Schlussbericht zum Projekt: Integration und Anwendung von Nano-Drähten durch Mikro-Nano-Fabrikation und Mikro-Montage - INANOMIK

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Technische Universität Darmstadt Institut für Elektromechanische Konstruktionen (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Schlaak, Helmut F. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Darmstadt ca. 2009
Schlagworte:	Forschungsbericht
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