Qualifizierung des Magnetronsputterns von keramischen Targets für die Herstellung von transparenten und leitfähigen Oxidschichten - ZnO TCO Schlussbericht für den Zeitraum: 01.05.2006 - 31.10.2008

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Sittinger, Volker (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Braunschweig 2009
Schlagworte:	Forschungsbericht
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