Ein neuartiger Prozess zur Herstellung vakuumgekapselter MEMS-Mikroscannerspiegel auf Waferebene

Kiel, Univ., Diss., 2009

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Oldsen, Marten (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Föll, Helmut (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: 2009
Schlagworte:
Hochschulschrift > MEMS > Scanner > Wafer
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