Konstruktion von Messspiegeln hochgenauer Mess- und Positioniermaschinen Beitrag zur Entwicklung einer Nanopositionier- und Nanomessmaschine

Zugl.: Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2009

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Lotz, Markus (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Höhne, Günter (BerichterstatterIn), Grünwald, Rainer (BerichterstatterIn), Beutler, Andreas (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Ilmenau ISLE 2009
Schriftenreihe:	Berichte aus dem Institut / Institut für Maschinenelemente und Konstruktion, Technische Universität Ilmenau 16
Schlagworte:	Hochschulschrift > Präzisionsmessung > Positionierantrieb > Messsystem > Spiegel > Nanotechnologie > Mikrosystemtechnik
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis Kurzbeschreibung
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