Silizium-Keramik-Verbundsubstrat eine neue Plattform für die Mikro-Nano-Integration

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Mikro-Nano-Integration
Weitere Verfasser:	Fischer, Michael (BerichterstatterIn), Bartsch, Heike (BerichterstatterIn), Hoffmann, Martin (BerichterstatterIn), Müller, Jens (BerichterstatterIn), Pawlowski, B. (BerichterstatterIn), Barth, S. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	2009
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