Papers from the 1st International Conference on Nanomanufacturing (NanoMan 2008), 14 - 15 July 2008, Singapore
Gespeichert in:
| Körperschaft: | |
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| Weitere Verfasser: | |
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | eng |
| Veröffentlicht: |
New York, NY
American Inst. of Physics
2009
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| Schriftenreihe: | Journal of vacuum science and technology / B
27.2009,3 |
| Schlagworte: | |
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | Die Vorlage enth. insgesamt 2 Werke |
|---|---|
| Beschreibung: | S. 1220 - 1589 |