Verbundprojekt "Tetragonal verspanntes Silizium für die Nanoelektronik" - TeSIN Abschlussbericht ; Laufzeit des Vorhabens: 01.05.2004 - 30.04.2008

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Aixtron AG (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Aachen ca. 2008
Schlagworte:	Forschungsbericht > MOS-FET > Silicium > CVD-Verfahren > Epitaxie
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