Verbundprojekt fanimat nano layer: nasschemisch gestützte Synthese- und Schichttechnologien zur Herstellung temperaturstabiler funktioneller Nanostrukturschichten Teilprojekt C: Funktionsschichten der Sensorik und Aktorik ; Abschlussbericht ; Berichtszeitraum: 01.08.2005-31.07.2008
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| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Hermsdorf
Siegert TFT GmbH
2009
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