Prüfung und Bewertung geometrischer Merkmale in der Mikrosystemtechnik ([my]geoMess), Verbundprojekt: [my]geoMess : Schlussbericht ; Teilvorhaben Mahr 16SV1942: Messsystementwicklung zur Prüfung geometrischer Merkmale in der Mikrosystemtechnik ; Rahmenprogramm "Mikrosysteme 2004 - 2009" des Bundesministeriums für Bildung und Forschung (BMBF), Rahmenkonzept "Mess- und Prüftechnik für den Test von Mikrosystemen (MSTPrüf)"

Prüfung und Bewertung geometrischer Merkmale in der Mikrosystemtechnik ([my]geoMess), Verbundprojekt: [my]geoMess Schlussbericht ; Teilvorhaben Mahr 16SV1942: Messsystementwicklung zur Prüfung geometrischer Merkmale in der Mikrosystemtechnik ; Rahmenprogramm "Mikrosysteme 2004 - 2009" des Bundesministeriums für Bildung und Forschung (BMBF), Rahmenkonzept "Mess- und Prüftechnik für den Test von Mikrosystemen (MSTPrüf)"

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Beutler, Andreas (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Lehmann, Peter (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Göttingen Mahr GmbH 2008
Schlagworte:
Forschungsbericht
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Beschreibung
Beschreibung:Verbund-Nr. 01034368 - V3 MPT 056
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Auch als elektronische Ressource vorh
Beschreibung:49 Bl.
Ill., graph. Darst.