High purity silicon 10 [proceedings of the Tenth High Purity Silicon Symposium held in Honolulu, Hawaii at the 214th meeting of the Electrochemical Society, October 12 - 17, 2008]

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Electrochemical Society Electronics and Photonics Division (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Claeys, C. L. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Pennington, NJ Electrochemical Soc. 2008
Schriftenreihe:ECS transactions Dielectric and semiconductor materials, devices, and processing 16,6
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