Prüfung und Bewertung geometrischer Merkmale in der Mikrosystemtechnik ([my]geoMess) Teilvorhaben: Vorentwicklung und Optimierung eines Mikrotasters ([my]Tast) ; Schlussbericht zum Vorhaben

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Peiner, Erwin (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Braunschweig TU ca. 2008
Schlagworte:	Forschungsbericht
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