Prüfung und Bewertung geometrischer Merkmale in der Mikrosystemtechnik ([my]geoMess) Teilvorhaben: Vorentwicklung und Optimierung eines Mikrotasters ([my]Tast) ; Schlussbericht zum Vorhaben

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Peiner, Erwin (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Braunschweig TU ca. 2008
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 16SV1944. - Verbund-Nr. 01034368
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Auch als elektronische Ressource vorh
Beschreibung:65, 7 Bl.
Ill., graph. Darst.