Entwicklung von Verfahren zur Kontrolle von Plasmaätzprozessen mittels in situ-Ellipsometrie und optischer Emissionsspektroskopie

Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2008

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Roeder, Georg (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: 2008
Schlagworte:
Hochschulschrift > Plasmaätzen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Zusammenfassung:Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2008
Beschreibung:Zsfassung in engl. und dt. Sprache
Beschreibung:VIII, 228 S.
Ill., graph. Darst.
21 cm