Elektrochemische Nanostrukturierung von Si-Oberflächen durch selektives Ritzen von isolierenden Dünnfilmen mit dem Rasterkraftmikroskop

Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2007

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Zhang, Yan (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2007
Schlagworte:	Hochschulschrift > Silicium > Lithografie > Rasterkraftmikroskop
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2007
Beschreibung:	174 S. Ill., graph. Darst.