Chemical modification and radiation induced degradation of the photoresist SU-8

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Deutsche Physikalische Gesellschaft 72nd annual meeting and DPG spring meeting of the Condensed Matter Section and the divisions: Physics Education, History of Physics, Radiation and Medical Physics as well as the working groups: Equal Opportunities, Industry and Business, Information, Physics and Disarmament, Physics of Socio-Economic Systems, Young DPG
Weitere Verfasser:	Ulbrich, Angela (BerichterstatterIn), Himmerlich, Marcel (BerichterstatterIn), Kremin, Christoph (BerichterstatterIn), Schumacher, Jens T. (BerichterstatterIn), Grodrian, Andreas (BerichterstatterIn), Schäfer, Jürgen A. (BerichterstatterIn), Metze, Josef (BerichterstatterIn), Hoffmann, Martin (BerichterstatterIn), Krischok, Stefan (BerichterstatterIn)
Pages:	72
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2008
Schlagworte:
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!