Tetragonal verspanntes Silicium für die Nanotechnologie (TeSiN) Abschlussbericht ; Berichtszeitraum: 01.05.2004 - 30.04.2008

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Siltronic AG (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Storck, Peter (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Burghausen 2008
Schlagworte:	Forschungsbericht
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