Innenbeschichtung mit Atmosphärendruck-Plasmen : ein innovatives Fertigungsverfahren für Mikrofluidik-Produkte (MikroPlas) ; Abschlussbericht ; BMWi-Verbundvorhaben ; Laufzeit des Vorhabens/Berichtszeitraum: 1.3.2004 - 31.8.2007

Innenbeschichtung mit Atmosphärendruck-Plasmen ein innovatives Fertigungsverfahren für Mikrofluidik-Produkte (MikroPlas) ; Abschlussbericht ; BMWi-Verbundvorhaben ; Laufzeit des Vorhabens/Berichtszeitraum: 1.3.2004 - 31.8.2007

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Klages, Claus-Peter (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Braunschweig 2008
Schlagworte:
Forschungsbericht > Mikrofluidik > Innenbeschichten > Plasmatechnik > Fertigungstechnik
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