Micro- and nanoelectronics 2007 : 1 - 5 October 2007, Zvenigorod, Russia ; [selected papers ... presented at the International Conference on Micro- and Nanoelectronics 2007 (ICMNE-2007)]

Micro- and nanoelectronics 2007 1 - 5 October 2007, Zvenigorod, Russia ; [selected papers ... presented at the International Conference on Micro- and Nanoelectronics 2007 (ICMNE-2007)]

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: Fiziko-Technologičeskij Institut (BerichterstatterIn), SPIE, The International Society for Optical Engineering Russian Chapter (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Valiev, Kamil A. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Bellingham, Wash. SPIE 2008
Schriftenreihe:Proceedings of SPIE 7025
Schlagworte:
Microelectronics > Nanotechnology > Lithography > Photonics > Konferenzschrift > Mikrosystemtechnik > Nanotechnologie > Mikroelektronik > Nanoelektronik
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