EMLC 2008 : 24th European Mask and Lithography Conference ; 21 - 24 January 2008, Dresden, Germany

EMLC 2008 24th European Mask and Lithography Conference ; 21 - 24 January 2008, Dresden, Germany

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Behringer, Uwe F. W. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Bellingham, Wash. SPIE 2008
Schriftenreihe:Proceedings of SPIE 6792
Schlagworte:
Integrated circuits > Masks > Microlithography > Konferenzschrift > Maske > Lithografie
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Beschreibung
Beschreibung:Getr. Zählung [ca. 460 S.]
ISBN:9780819469564
978-0-8194-6956-4