Chemical mechanical polishing 9 [papers ... presented in the Symposium "Chemical Mechanical Polishing 9"] ; at the 213th ECS meeting ; May 18 - 23, 2008, Phoenix, Arizona, USA

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Electrochemical Society Dielectric Science and Technology Division (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Banerjee, G. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Red Hook, NY Curran 2008
Schriftenreihe:	ECS transactions 13,4
Schlagworte:	Konferenzschrift > Polieren > Chemisches Polieren
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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