Mikrointerferometrie mit Lichtquellen unterschiedlicher spektraler Eigenschaften

Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 2007

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Molnár, Gábor (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Aachen Shaker 2008
Schriftenreihe:	Schriftenreihe des Instituts für Produktionsmesstechnik 4
Schlagworte:	Hochschulschrift > Mikrosystemtechnik > Prozessüberwachung > Fertigungsmesstechnik > Oberflächenmessung > Dimension 3 > Interferenzmikroskopie
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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