Microsystem design

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Senturia, Stephen D. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	New York Springer Science+Business Media 2004
Ausgabe:	Corr. at 7. print.
Schlagworte:	Microelectromechanical systems > Design and construction > Microelectronics > System design > Mikrosystemtechnik > MEMS > Layout
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis Cover
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