Abscheidung Aluminium-basierter Funktionsschichten auf Massengütern durch plasmagestützte Vakuumverfahren (ALMAPLAS) : Verbundprojekt ; Teilvorhaben des FEP: Qualifizierung eines plasmagestützten Aufdampfverfahrens für Funktionsschichten auf schüttfähigen statistisch bewegten Kleinteilen und Demonstration in einer Pilotanlage ; Schlussbericht ; Laufzeit des Vorhabens: 01.08.2005 - 31.07.2007

Abscheidung Aluminium-basierter Funktionsschichten auf Massengütern durch plasmagestützte Vakuumverfahren (ALMAPLAS) Verbundprojekt ; Teilvorhaben des FEP: Qualifizierung eines plasmagestützten Aufdampfverfahrens für Funktionsschichten auf schüttfähigen statistisch bewegten Kleinteilen und Demonstration in einer Pilotanlage ; Schlussbericht ; Laufzeit des Vorhabens: 01.08.2005 - 31.07.2007

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Fietzke, F. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Dresden 2008
Schlagworte:
Forschungsbericht > Verbindungselement > Vakuumbeschichten > PVD-Verfahren > Aluminium
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