Abschlußbericht zum Vernetzungsprojekt "Zinkoxidschichten für Dünnschichtsolarzellen" Teilvorhaben: Plasmaanalyse an Sputteranlagen zur ZnO-Deposition

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Institut für Niedertemperatur-Plasmaphysik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Wiese, Ruben (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Greifswald ca. 2005
Schlagworte:	Forschungsbericht > Dünnschichttechnik > Sputtern > Zinkoxid > Oberflächeneigenschaft > Optische Messtechnik
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