Automatisierte Höchstpräzisions-Fertigungstechnologie für Mikrooptik-Baugruppen - Fermi Ergebnisbericht des BMBF Verbundprojektes

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Leica-Microsystems Wetzlar GmbH (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Sure, Thomas (BerichterstatterIn), Rhode, Mathias (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Wetzlar u.a. 2007
Schlagworte:	Forschungsbericht > Mikrooptik > Feinbearbeitung > Automation > Fertigungsmesstechnik
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