Mikro-System-Technik Chemnitz '07 Mikromechanik & Mikroelektronik ; 8. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 14./15. November 2007

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaften:	Technische Universität Chemnitz (BerichterstatterIn), Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Dötzel, Wolfram (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Chemnitz Techn. Univ. 2007
Schlagworte:	Microelectronics > Micromechanics > Konferenzschrift > Mikrosystemtechnik > Mikroelektronik
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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