Schlussbericht zum BMBF-Vorhaben: Compact optohybrids (CoOp) Teilvorhaben: Ionenätzverfahren für die Strukturierung ; Laufzeit des Vorhabens: 01.01.2003 - 31.08.2005

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Schindler, Axel (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Leipzig 2006
Schlagworte:	Forschungsbericht
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