Schlussbericht zum BMBF-Vorhaben: Compact optohybrids (CoOp) : Teilvorhaben: Ionenätzverfahren für die Strukturierung ; Laufzeit des Vorhabens: 01.01.2003 - 31.08.2005

Schlussbericht zum BMBF-Vorhaben: Compact optohybrids (CoOp) Teilvorhaben: Ionenätzverfahren für die Strukturierung ; Laufzeit des Vorhabens: 01.01.2003 - 31.08.2005

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Schindler, Axel (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Leipzig 2006
Schlagworte:
Forschungsbericht
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 16 SV 1809. - Verbund-Nr. 01023070. - Engl. Berichtsbl. u.d.T.: Compact optohybrids (CoOp), sub-project: Ion etching techniques for pattern transfer
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Auch als elektronische Ressource vorh
Beschreibung:14 Bl.
Ill., graph. Darst.