Lithographie : LIGA-4H: Abschlussbericht an den Projektträger ; Projekt-Bericht IMT Nr. 201-101 ; Projekt-Nr.: 02-084V-00B

Lithographie LIGA-4H: Abschlussbericht an den Projektträger ; Projekt-Bericht IMT Nr. 201-101 ; Projekt-Nr.: 02-084V-00B

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Schulz, Joachim (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Meyer, Pascal (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Karlsruhe Forschungszentrum, Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) 2006
Schlagworte:
Forschungsbericht > LIGA-Verfahren > Nickellegierung > Eisenlegierung > Lithografie
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