Micro and nano fluidics, micro and nano manufacturing, metrology and control, commercialization of micro and nano technology, general

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Nanotechnology Institute (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	New York, NY ASME 2007
Schriftenreihe:	Proceedings of the International Conference on Integration and Commercialization of Micro and Nanosystems 2007 Pt. B
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